ระบบวัดเมโทรโลจีโพรไฟล์ระดับเวฟเฟอร์อัตโนมัติ

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์:

ข้อได้เปรียบหลักของผลิตภัณฑ์นี้ คือความสามารถในการตรวจสอบอัตโนมัติเต็มรูปแบบและความแม่นยำในการวัดที่สูงมาก สามารถตอบสนองความต้องการตรวจสอบคุณภาพที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมกึ่งตัวนำ เครื่องหลักทำจากหินกราไนท์และสแตนเลสสตีล มีความเสถียรดีและไม่หักง่าย ช่วยรับประกันความแม่นยำในการวัดเป็นเวลานาน รองรับการตรวจสอบเวฟเฟอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม. และซอฟต์แวร์วิเคราะห์เมโทรโลจีระดับเวฟเฟอร์ในตัว สามารถนับจำนวนเวฟเฟอร์ที่มีข้อบกพร่องได้อัตโนมัติและสร้างรายงานคุณภาพระดับมืออาชีพ อินเตอร์เฟสอีเธอร์เน็ตอุตสาหกรรมสามารถเชื่อมต่อกับระบบควบคุมสายการผลิตกึ่งตัวนำ เพื่อทำการควบคุมวงปิดของกระบวนการผลิต

ข้อกำหนดผลิตภัณฑ์:

ขนาดเครื่องหลักคือ 2500 มม. × 2000 มม. × 1800 มม. น้ำหนักบริสุทธิ์ 1200 กก. เหมาะสำหรับการติดตั้งคงที่ในห้างผลิตกึ่งตัวนำที่สะอาด รองรับการตรวจสอบเวฟเฟอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม. ความแม่นยำในการวัดถึง ±0.05 ไมโครเมตร ตอบสนองความต้องการตรวจสอบคุณภาพที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมกึ่งตัวนำ ความเร็วการสแกนสูงสุด 20 มม./วินาที และโหมดการทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ สามารถทำการตรวจสอบโดยไม่ต้องมีคนดูแล ได้ ขับเคลื่อนด้วยไฟฟ้า AC 380V 50/60Hz และสามารถเชื่อมต่อกับระบบควบคุมอุปกรณ์ผลิตกึ่งตัวนำหลักๆ ผ่านอินเตอร์เฟสอีเธอร์เน็ตอุตสาหกรรม ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ในตัวสามารถสร้างรายงานตรวจสอบคุณภาพเวฟเฟอร์ระดับมืออาชีพและเปรียบเทียบข้อมูลกับแบบร่างการออกแบบได้

การประยุกต์ใช้ผลิตภัณฑ์:

ผลิตภัณฑ์นี้ส่วนใหญ่ใช้ในโรงงานผลิตเวฟเฟอร์ ห้างผลิตอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ โรงงานบรรจุภัณฑ์และตรวจสอบกึ่งตัวนำ และสถานการณ์อื่นๆ อีกมากมาย สามารถทำการตรวจสอบอัตโนมัติเต็มรูปแบบพารามิเตอร์ต่างๆ ของเวฟเฟอร์กึ่งตัวนำ เช่น โคลนระนาบ ความเรียบ ความสูงขั้น และอื่นๆ แทนการทำงานการตรวจสอบด้วยมือ ปรับปรุงประสิทธิภาพและความแม่นยำในการตรวจสอบ และรับประกันว่าผลิตภัณฑ์กึ่งตัวนำที่ส่งมอบตรงตามข้อกำหนดการออกแบบ ยังสามารถใช้สำหรับการตรวจสอบคุณภาพอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เช่น ชิปและบอร์ดวงจรได้อีกด้วย