เครื่องวัดโปรไฟล์พื้นผิวระดับนาโนสเกลด้วยความแม่นยำสูง

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์:

ข้อได้เปรียบหลักคือ ระบบกันสั่นแบบใช้พลังงานที่ชดเชยผลกระทบของสั่นแวดล้อมในห้องปฏิบัติการ รวมกับโดมเพชรรัศมี 0.5 ไมโครเมตร และความละเอียดแนวตั้ง 0.001 ไมโครเมตร เพื่อทำการวัดโปรไฟล์ด้วยความแม่นยำระดับนาโน เครื่องนี้ใช้ฐานหินเกรไนท์และโครงสร้างอลูมิเนียมอัลลอย เพื่อให้มีความเสถียรของโครงสร้าง และติดตั้งซอฟต์แวร์วัดมาตรฐาน 3 มิติระดับมืออาชีพ เพื่อรองรับการสร้างภาพพื้นผิว 3 มิติและการวิเคราะห์ความยอมรับทางเรขาคณิตโดยละเอียด รองรับการส่งข้อมูลด้วยความเร็วสูงผ่าน IEEE1394 และ USB3.1 ซึ่งแก้ปัญหาที่ยากของอุตสาหกรรมในการวัดชิ้นงานระดับนาโนได้อย่างแม่นยำ และตรงตามมาตรการตรวจสอบแสงระหว่างประเทศ ISO 10110 อย่างสมบูรณ์ เพื่อตอบสนองความต้องการของการวิจัยวิทยาศาสตร์ระดับสูงและการตรวจสอบระดับทหาร

คุณสมบัติทางเทคนิคผลิตภัณฑ์:

พารามิเตอร์โดยละเอียด: น้ำหนักบริสุทธิ์ 25 กิโลกรัม ขนาดรวม 600 มม. × 500 มม. × 350 มม.; ฐานหินเกรไนท์ช่วยให้โครงสร้างมีความเสถียร ระบบกันสั่นแบบใช้พลังงานกำจัดการรบกวนจากสั่นแวดล้อมภายใน ±5 ไมโครเมตร; ระยะการวัดแกน X/Y 50 มม. × 50 มม. ระยะการวัดแกน Z 20 มม.; ความแม่นยำในการวัดถึง ±0.005 ไมโครเมตร ความละเอียดแนวตั้ง 0.001 ไมโครเมตร; ใช้โดมทดสอบเพชรธรรมชาติ R=0.5 ไมโครเมตร รองรับการตรวจสอบความหยาบของพื้นผิวระดับนาโน โปรไฟล์และความสูงของขั้นตอน; ติดตั้งอินเตอร์เฟซข้อมูลความเร็วสูง IEEE1394 และ USB3.1 ความเร็วการส่งถึง 10 Gbps; ติดตั้งซอฟต์แวร์วัดมาตรฐาน 3 มิติระดับมืออาชีพ รองรับการแสดงภาพพื้นผิว 3 มิติ การวิเคราะห์ความยอมรับทางเรขาคณิต GD&T และการสร้างรายงานเปรียบเทียบข้อมูล; สภาพแวดล้อมการทำงานต้องมีอุณหภูมิ 20±0.5 องศาเซลเซียส ความชื้นสัมพัทธ์ 30%-60% RH ต้องใช้กับแหล่งจ่ายไฟที่มีความเสถียร

การประยุกต์ใช้ผลิตภัณฑ์:

เหมาะสำหรับการตรวจสอบโปรไฟล์ 3 มิติของอุปกรณ์ MEMS การตรวจสอบความแม่นยำของแมสพิมพ์ลิโธกราฟีเซมิกอนดักเตอร์ การวัดความหนาชั้นเคลือบนาโน การตรวจสอบความหยาบของพื้นผิวเลนส์แสงระดับนาโน การตรวจสอบความยอมรับทางเรขาคณิตของชิ้นส่วนแม่นยำระดับทหาร การทดลองวิจัยเทคโนโลยีนาโนในมหาวิทยาลัย และสถานการณ์อื่นๆ เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบความแม่นยำระดับห้องปฏิบัติการ ที่ให้ข้อมูลการวัดระดับนาโนที่แม่นยำสำหรับวงการผลิตและวิจัยระดับสูง ช่วยให้บริษัทควบคุมคุณภาพการผลิตของผลิตภัณฑ์แม่นยำสูงและส่งเสริมการวิจัยพัฒนาและปรับปรุงกระบวนการผลิตระดับนาโนสเกลได้