ใช้กล้องอุตสาหกรรมความละเอียดสูง 12MP ทั้งหมด 6 ชุด ซึ่งจับคู่กับแหล่งแสงเอียงแบบโคแอกเซียลและแหล่งแสงดาร์กฟิลด์ สามารถตรวจสอบรอยขีดข่วน สิ่งเจือปน และเนื้อหานูโบลบนพื้นผิวแผ่นวีเฟอร์ รวมถึงโมเดลการจำจำข้อบกพร่องกึ่งตัวนำที่ใช้การเรียนรู้เชิงลึกในตัว ซึ่งครอบคลุมมากกว่า 99.9% ของประเภทข้อบกพร่องกึ่งตัวนำที่พบบ่อย รองรับการตรวจสอบขนาดเต็มของแผ่นวีเฟอร์เส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม. และสามารถอัพโหลดข้อมูลการตรวจสอบไปยังระบบ MES การผลิตกึ่งตัวนำได้ในเวลาจริง รองรับการจัดตำแหน่งและจำแนกประเภทข้อบกพร่องของแผ่นวีเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ และตรงตามมาตรฐานความปลอดภัยกึ่งตัวนำ SEMI S2 เพื่อให้แน่ใจว่าขั้นตอนการตรวจสอบสอดคล้องกับข้อกำหนดของอุตสาหกรรม
พื้นที่ตรวจสอบสูงสุดคือแผ่นวีเฟอร์เส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม. และข้อบกพร่องบนพื้นผิวที่สามารถตรวจสอบได้น้อยสุดคือ 0.001 มม. ความละเอียดของกล้องคือ 12 ล้านพิกเซล และความเร็วการตรวจสอบคือ 150 ตารางเซนติเมตรต่อวินาที แหล่งจ่ายไฟคือ AC220V 50/60Hz ด้วยการใช้พลังงาน 1.8 กิโลวัตต์ ขนาดรวมของอุปกรณ์คือ 1600*1400*1700 มม. และน้ำหนักอุปกรณ์คือ 950 กิโลกรัม รองรับความหนาแผ่นวีเฟอร์ 0.05-0.8 มม. และมีแพลตฟอร์มการเคลื่อนไหวความแม่นยำสูง ที่มีความแม่นยำในการจัดตำแหน่ง 0.0005 มม. รองรับการโหลดและถอดอัตโนมัติที่เชื่อมต่อกับสายการผลิตบรรจุหีบห่อกึ่งตัวนำ และผ่านการรับรอง CE, ISO9001 และ SEMI S2 แล้ว
ส่วนใหญ่ใช้สำหรับโรงงานผลิตแผ่นวีเฟอร์กึ่งตัวนำ โรงงานบรรจุหีบห่อและทดสอบ IC บริษัทผลิตไมโคร LED และองค์กรผลิตระดับสูงอื่นๆ เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบข้อบกพร่องบนพื้นผิวแผ่นวีเฟอร์ ข้อบกพร่องของขาชิป และข้อบกพร่องจุดแสงไมโคร LED ซึ่งตรงตามความต้องการการตรวจสอบคุณภาพความแม่นยำสูงของการผลิตกึ่งตัวนำระดับสูง ช่วยองค์กรลดการไหลออกของผลิตภัณฑ์มีข้อบกพร่อง และปรับปรุงความน่าเชื่อถือและอัตราการผลิตผลิตภัณฑ์กึ่งตัวนำ โดยสอดคล้องกับมาตรฐานควบคุมคุณภาพอุตสาหกรรมกึ่งตัวนำทั่วโลก
โพสต์ RFQ
แชท
ทุกหมวดหมู่