เครื่องทำความสะอาดสุญญากาศสำหรับแผ่นวาฟเฟอร์เซมิกอนดักเตอร์

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์:

เครื่องผลิตภัณฑ์นี้มีระดับสุญญากาศสูงถึง 1Pa ที่ช่วยป้องกันการรบกวนจากฟองอากาศในระหว่างกระบวนการทำความสะอาด และมีช่องโควต์ที่ขัดเงาเพื่อหลีกเลี่ยงมลภาวะรอง มันตรงตามมาตรฐานความสะอาดระดับ ISO 5 และกระบวนการทำความสะอาดตามมาตรฐาน RCA เข้ากับข้อกำหนดการผลิตเซมิกอนดักเตอร์ทั่วโลก ระบบใส่สารเคมีอัตโนมัติช่วยควบคุมสารเคมีได้อย่างแม่นยำ ลดข้อผิดพลาดจากมนุษย์ อัลตราโซนิกอาร์เรย์กำลังสูง 2000W จะปกคลุมพื้นผิวแผ่นวาฟเฟอร์อย่างสม่ำเสมอ หลีกเลี่ยงการทำความสะอาดไม่ครบถ้วนในบางพื้นที่ มันมีการออกแบบป้องกันระเบิดและระบบป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ เหมาะสำหรับโรงงานไร้ฝุ่น ซึ่งแก้ปัญหาการทำความสะอาดยากและการควบคุมมลภาวะของแผ่นวาฟเฟอร์เซมิกอนดักเตอร์ และเพิ่มอัตราการผลิตของอุปกรณ์เซมิกอนดักเตอร์

ข้อกำหนดผลิตภัณฑ์:

ขนาดภายในห้องทำความสะอาดคือ 800*600*104 มม. มีปริมาตรรวม 50 ลิตร ติดตั้งตัวแปลงสัญญาณอัลตราโซนิกความถี่สูง 1MHz สำหรับการทำความสะอาดแผ่นวาฟเฟอร์ความแม่นยำ มันรองรับระดับสุญญากาศลดลงถึง 1Pa แรงดันไฟฟ้าทำงาน 220V 3-phase 50Hz และกำลังไฟฟ้าที่ใช้รวม 2500W น้ำหนักบริสุทธิ์ 800 กิโลกรัม น้ำหนักรวม 900 กิโลกรัม บรรจุในกล่องไม้ขนาด 1600*1300*1900 มม. อุปกรณ์มาตรฐานรวมถึงที่ยึดแผ่นวาฟเฟอร์พิเศษ ถังเก็บสารเคมี ระบบควบคุมอัตโนมัติและระบบตรวจสอบระยะไกล มันผ่านมาตรฐาน SEMIC S8 และการรับรอง CE ซึ่งตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิกอนดักเตอร์

การประยุกต์ใช้ผลิตภัณฑ์:

เครื่องทำความสะอาดสุญญากาศเซมิกอนดักเตอร์นี้ เหมาะสำหรับกระบวนการทำความสะอาดในระหว่างการผลิตแผ่นวาฟเฟอร์เซมิกอนดักเตอร์ การล้างกรอบขาในโรงงานบรรจุภัณฑ์ชิป การล้างชิป LED การทำความสะอาดแผงโฟโตโวลต์แบบแม่นยำ และการทำความสะอาดอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ความแม่นยำอื่นๆ