โพสต์ RFQ
เครื่องวัดพิกัด CMM ระดับห้องปฏิบัติการ นี้ มีระบบขับเคลื่อนเซอร์โวด้วยแอร์เบียริง ซึ่งไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการเคลื่อนที่ ทำให้มีความแม่นยำในการเคลื่อนที่สูงอุดมการณ์ และเสถียรภาพในระยะยาว อุปกรณ์นี้ใช้โพรบสัมผัสจากหินรูบี ซึ่งมีความทนทานต่อการสึกหรอสูง และความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำซ้อนสูงอุดมการณ์ ±0.05μm ซอฟต์แวร์การวัดที่มาพร้อมคือ PC-DMIS Calibration 2024 ซึ่งออกแบบมาสำหรับการเทียบเกณฑ์เมตรอโลจิชโดยเฉพาะ และรองรับการวิเคราะห์ข้อมูลความแม่นยำสูงและการแก้ไขข้อผิดพลาด นอกจากนี้ อุปกรณ์นี้ออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการอุณหภูมิคงที่ และสามารถรักษาความแม่นยำในการวัดที่เสถียรในสภาพแวดล้อม 18-22℃ ยังมีฟังก์ชันการเทียบเกณฑ์และตรวจสอบที่สมบูรณ์ ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการการรับรองเมตรอโลจิชของประเทศได้อีกด้วย

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคโดยละเอียดดังนี้: ช่วงการวัดที่มีประสิทธิภาพ คือ แกน X 600 มม. แกน Y 500 มม. แกน Z 400 มม.; ความแม่นยำในการวัดทั้งเครื่องคือ ±0.2μm (สอดคล้องกับมาตรฐานเมตรอโลจิชระบุสากล ISO 10360-2); ระบบขับเคลื่อนใช้ระบบเซอร์โวแอร์เบียริง ซึ่งไม่มีแรงเสียดทานและมีความแม่นยำในการเคลื่อนที่สูงอุดมการณ์; ซอฟต์แวร์การวัดที่มาพร้อมคือ PC-DMIS Calibration 2024 ซึ่งรองรับการเทียบเกณฑ์เมตรอโลจิชและการวิเคราะห์ข้อมูลความแม่นยำสูง; โต๊ะทำงานทำจากหินหญ้าธรรมชาติ ซึ่งมีค่าสัมประสิทธิภาพขยายตัวตามอุณหภูมิต่ำมาก; ความสามารถรับน้ำหนักสูงสุดของโต๊ะทำงานคือ 300 กก.; โพรบเป็นโพรบสัมผัสจากหินรูบี ซึ่งมีความไวสูงและทนทานต่อการสึกหรอ; อินเตอร์เฟซข้อมูลมี GPIB และ Gigabit Ethernet เพื่อรองรับการถ่ายทอดข้อมูลระดับมืออาชีพ; ขนาดเครื่องทั้งหมดคือ 1200 มม. × 1000 มม. × 1600 มม.; แหล่งจ่ายไฟคือ 220V 50Hz/60Hz และเหมาะกับสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการอุณหภูมิคงที่ 18-22℃; ความแม่นยำในการวางตำแหน่งซ้ำซ้อนคือ ±0.05μm

ผลิตภัณฑ์นี้ใช้หลักๆ ในสถาบันเมตรอโลจิช วิจัยและพัฒนาเซมิกอนดักเตอร์ การเทียบเกณฑ์เครื่องมือวัดความแม่นยำ การทดสอบชิ้นส่วนเครื่องจักรความแม่นยำทางอวกาศ และสาขาอื่นๆ ฉากการประยุกต์ใช้โดยทั่วไป ได้แก่ การเทียบเกณฑ์เครื่องมือวัดมาตรฐาน การตรวจสอบขนาดชิปเซมิกอนดักเตอร์ การเทียบเกณฑ์อุปกรณ์คอมโพเนนต์เครื่องมือวัดความแม่นยำ และการตรวจสอบความแม่นยำของชิ้นส่วนเครื่องจักรทางอวกาศ ในสถาบันเมตรอโลจิช อุปกรณ์นี้สามารถใช้เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบมาตรฐาน เพื่อเทียบเกณฑ์เครื่องมือวัดอื่นๆ เพื่อให้แน่ใจถึงความสม่ำเสมอของหน่วยการวัด